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產(chǎn)品創(chuàng)新點(diǎn)
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
1. 主要用途：
該款設(shè)備是全自動Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)（PECVD）,，連續(xù)可控溫度以及Plasma強(qiáng)度等,，配備真空系統(tǒng)，可以低壓條件下實(shí)現(xiàn)工藝,，PECVD系統(tǒng)
能使整個實(shí)驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),，輝光相對均勻等效，很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),，該設(shè)備爐管可360°旋轉(zhuǎn),，有助于粉
料的燒結(jié)更均勻，可大角度傾斜,，方便進(jìn)出料,，傾斜角度在0-35°之間，所有物料經(jīng)過的管道都選用非金屬材質(zhì),，如：進(jìn)出料腔體選用石
英材質(zhì),，推料桿選用石英及聚四氟材質(zhì)。
2.結(jié)構(gòu)與原理圖：
結(jié)構(gòu)圖
設(shè)備組成：加熱系統(tǒng),，Plasma系統(tǒng),，進(jìn)料系統(tǒng)，出料系統(tǒng),，氣體控制系統(tǒng),，低真空系統(tǒng)，氣料分離系統(tǒng),，過濾系統(tǒng),，爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)，電控操作系統(tǒng),。
（1）加熱系統(tǒng)：
該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,，特別適合于科研單位的材料工藝研
究,。加熱元件選用電阻絲加熱,，適合中低溫度加熱系統(tǒng)。
高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng),，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫,，電力調(diào)制器控制；負(fù)載采用小電
壓大電流控制,，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),，無須操作人員的干預(yù)，可
自行根據(jù)不同溫度曲線的升,、降溫要求調(diào)整輸出信號,，同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫,、斷偶報警保護(hù)功能,，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。
額定功率 | 4KW |
額定電壓 | AC220V 50/60Hz |
高溫度 | 1200度 |
使用溫度 | 1100度 |
設(shè)備尺寸 | 長*寬*高 2100*600*1200mm |
爐管尺寸 | Ø60*420*2+Ø100*360mm* |
爐管旋轉(zhuǎn)速率 | 0~60r/min |
爐體傾斜角度 | 0~35° |
爐膛材料 | 氧化鋁,、高溫纖維制品 |
熱電偶類型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 30段可編程控溫,，PID參數(shù)自整定， 操作界面為10”液晶觸摸屏控制 |
加熱長度 | 200mm+200mm |
恒溫長度 | 250mm |
加熱元件 | 電阻絲 |
（2）Plasma系統(tǒng)：
本系統(tǒng)借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體,，輝光放電等離子體中,，電子密度高，通過反應(yīng)氣態(tài)放電,，有效利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,，從根
本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式。
（3）進(jìn)料系統(tǒng)：
送料系統(tǒng)速度連續(xù)可調(diào),，停止送料且爐體傾斜大時,，物料不會從送料系統(tǒng)外漏，送料系統(tǒng)方便拆卸,，拆卸后可手動加料,，設(shè)備可正常運(yùn)行。
（4）出料系統(tǒng)：
出料系統(tǒng)在爐體傾斜出料時可自動出料,。
（5）氣體控制系統(tǒng)：
該控氣系統(tǒng)是可以控制兩種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比的,，也可以獨(dú)立控制，質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動的機(jī)柜內(nèi),，由超潔雙拋不銹
鋼管與精密雙卡套接頭連接組成,。
連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2) | *路: 200 SCCM 第二路: 500 SCCM |
準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S |
線性 | ±1%F.S |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
響應(yīng)時間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
大壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
顯示 | 4位數(shù)字顯示 |
工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6 |
內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
（6）低真空系統(tǒng)：
該系統(tǒng)配備真空機(jī)械泵,，可以抽真空,，可以讓設(shè)備在真空環(huán)境下進(jìn)行反應(yīng),。
空氣相對濕度 | ≤85% |
工作環(huán)境 | 5℃～40℃ |
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1KW |
抽氣速率 | 10m³/h |
極限真空 | 5X10-1Pa |
工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
耐壓值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
進(jìn)氣口口徑 | KF25 |
排氣口口徑 | KF25 |
噪音 | 50dB |
外形尺寸 | 600×600×600mm |
連接方式 | 采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連 |
（7）氣料分離系統(tǒng)：
該系統(tǒng)可以讓設(shè)備在充氣體保護(hù)或者抽真空時,，實(shí)現(xiàn)氣體與物料的分離,。
（8）過濾系統(tǒng)：
該系統(tǒng)可防止物料進(jìn)入真空泵，保證真空泵的正常運(yùn)行,。
（9）爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)：
爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動,，轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào)，且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長時間運(yùn)行,。
3.技術(shù)指標(biāo)：
（1）該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn),，管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻；
（2）整個爐子和送料,、收料系統(tǒng)能夠一起傾斜,，方便出放料，傾斜角度在0~35°之間可調(diào),；
（3）送料系統(tǒng)送料速度連續(xù)可調(diào),，停止送料且爐體大傾斜時，物料不從送料系統(tǒng)外漏,。送料系統(tǒng)方便拆卸,，拆卸之后可以手動加料，設(shè)備可
正常運(yùn)行,。
（4）爐管回轉(zhuǎn)穩(wěn)定,，不會上下左右跳動；轉(zhuǎn)速在0~60r/min連續(xù)可調(diào),，能在60r/min轉(zhuǎn)速下連續(xù)*運(yùn)轉(zhuǎn)(>24h),。
（5）爐子轉(zhuǎn)速，加料速度,，傾斜角度,，真空度，氣體流量,，溫度,，運(yùn)行時間，等離子體功率等參數(shù)都用數(shù)字顯示,，并在運(yùn)行過程記錄設(shè)備整個
運(yùn)行軌跡及上述參數(shù)（在工控及獨(dú)立電腦上均能實(shí)現(xiàn)）,；
（6）設(shè)備運(yùn)行可分為手動模式與自動模式；自動模式下可實(shí)現(xiàn)高度自動化運(yùn)行,，所有參數(shù)程序設(shè)定好后自動運(yùn)行：可實(shí)現(xiàn)按照設(shè)定程序連續(xù)工
作,，可設(shè)置多工作段不同參數(shù)，并可進(jìn)行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作,；